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Ultrapure Water System for Microchip Manufacturing

Sistema de agua ultrapura para la fabricación de microchips

Sistema de tratamiento de agua diseñado a medida por AMI para suministrar agua ultrapura para su uso en el enjuague de agua para la fabricación de microchips en Hua Yue Microelectronics (China). La instalación incluye un sistema de ósmosis inversa de dos pasos y microfiltración, y se completa con pretratamiento, ozono, desgasificadores, desinfección ultravioleta y desionización de lecho mixto.

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Flow Rate 300 GPM 1.136 LPM 1.635 M3/Day Porcelana 1996
Application Agua de enjuague para microelectrónica y semiconductores

Technologies Used

  • Ozone
  • Hydrocyclone
  • Media Filtration
  • Reverse Osmosis
  • Membrane Degassifiers
  • Mixed Bed DI
  • Ultraviolet Disinfection
  • Microfiltration

Special Features

  • Sistemas de ósmosis inversa de dos pasos
  • Requisitos de agua del producto:
    • Resistividad = 17,5 megaohmios/cm
    • COT < 100 ppb
    • DO2 < 100 ppb
    • SiO2 < 5 ppb
    • Microorganismos < 50/100 mL
  • Tubería de PVDF