用于微芯片制造的超纯水系统
AMI 定制水处理系统，为中国华粤微电子公司微芯片制造提供用于冲洗的超纯水。该系统包含两道反渗透和微滤系统，并配有预处理、臭氧、脱气器、紫外线消毒器和混床去离子器。
| Flow Rate | 300 GPM | 1,136 LPM | 1,635 M3/Day | 中国 | 1996 |
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| Application | 微电子及半导体冲洗水 |
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Technologies Used
- Ozone
- Hydrocyclone
- Media Filtration
- Reverse Osmosis
- Membrane Degassifiers
- Mixed Bed DI
- Ultraviolet Disinfection
- Microfiltration
Special Features
- 2 道 RO 系统
- 产品水要求：
- 电阻率=17.5兆欧/厘米
- 总有机碳 (TOC) < 100 ppb
- 溶解氧<100ppb
- 二氧化硅<5ppb
- 微生物<50/100毫升
- PVDF管道
